599彩票APP:小型臺式板式電容PECVD

3d和值尾带连线专业版 www.ovbqv.com 發布時間:2019-11-19 瀏覽次數:0

產品介紹

一、PECVD原理:

  化學氣象沉積(chemical vapor deposition,簡稱CVD)是在一定的溫度條件下,混合氣體之間與基材表面相互作用,并且進一步在基材表面形成金屬膜或者化合物薄膜,使材料表面改性,以達到耐磨,抗氧化、抗腐蝕性等性能,在電子,光學,摩擦力學,機械應用方面有很多應用。

 等離子化學氣象沉積(plasma enhanced chemical vapor deposition,簡稱PECVD)也叫做等離子體輔助化學氣象沉積(簡稱PACVD)則是依靠等離子體中得電子的動能去激活氣象得化學反應,由于等離子體是離子、電子、中性原子和分子的集合體,因此大量的能量存在于等離子的內能之中。PECVD是冷等離子體,是通過低壓氣體放電而形成的,一般是在幾帕到幾百帕的低氣壓下,通過射頻、中頻等放電所產生。

 

二、PECVD的特點:

   與常規的熱CVD比較,PECVD具有更多的優點

     1、沉積溫度低:熱CVD的溫度一般高于600度,其應用范圍非常有限,大部分只能用于實驗功能,PECVD的沉積溫度可以降到200度以內,這是由于其內能,也就是電子所具備的高能量所提供的。此優點決定了其可以廣泛的應用于各種金屬、半導體、電子等領域。

     2、沉積速率及均勻性得到提高:PECVD在輝光放電中所用的壓力比較低,反應物中分子、原子等離子粒團與電子之間的碰撞、散射、電離等作用增強,膜層厚度的均勻性得到改善,針孔減少,組織致密,內應力少,不易產生微裂紋。

     3、可以獲得性能獨特的膜層:PECVD的輝光放電處于非平衡狀態,及能量耗散狀態,其沉積產物呈多樣性,可以獲得熱分解所不能得到的物質,最典型的,熱分解甲烷得到石墨薄膜,PECVD則可以得到金剛石薄膜。

 

 三、公司設備特點

1、設備整體尺寸:550mm*550mm*1200mm(寬*深*高)

2、真空室尺寸:直徑70*高度110mm

3、平行板電極尺寸:直徑60mm

4、電極調節:可調節

5、真空系統:機械泵

6、極限真空度:1*10-3mabr。

7、濺射電源:射頻電源5KW

8、工藝匹配:手動匹配

9、氣體控制:質量流量控制器 2路

10、真空檢測:電阻真空計

11、加熱系統:熱電阻加熱 1.2KW

12、控制方式:手動控制系統

 

 

四、PECVD設備的應用

1、沉積DLC膜層:用與機械、電子、醫療等領域

2、沉積氮化硅:半導體行業、微電子行業

3、沉積TIN膜層:以及TIC等硬質膜層,比離子鍍更光亮,更美觀

4、納米炭管:CNTs是PECVD技術的一個新的應用

5、太陽能薄膜電池:非晶硅太陽能電池的制備

商家資料

公司名稱 北京維意真空技術應用有限責任公司
公司地址: 北京市大興區舊橋路25號院
公司電話: 010-67947887
傳真: 010-67947887
公司簡介: 公司名稱(現用名):北京維意真空技術應用有限責任公司 公司名稱(曾用名):北京科立方真空技術應用有限公司 覆蓋區域:北京、天津、河北 北京維意真空技術應用有限責任公司,原名北京科立方真空技術應用有限公司,創立于2013年,位于中國·首都北京密云經濟技術開發區,主體經營分為真空配件銷售、真空設備定制、淺藍納米科技三個部分,是北京從事真空產品設計、制造、銷售、維修、保養于一體的專業性的公司,公司擁有一支專業、優秀的產品技術工程師和維修技術工程師,具有豐富的行業經驗,同時還與北京工業大學聯合研發等離子體增強化學氣相沉積系統,與北京交通大學聯合研發原子層沉積系統,滿足高校、研究所的教學、科研使用,同時減少相關進口設備的市場占有率,并力爭創造外匯,打出中國創造的名牌! 我們的客戶遍布北京各高校和研究院所、部分軍工單位和電力試驗所、各級的材料、物理、化學、納米等研究領域尖端的實驗室,期待您就是我們的下一位客戶、朋友! 您的滿意微笑是我們一直努力追求的經營目標! 技術創新、業務專業、服務誠信是我們一直遵循的經營理念! 我們熱誠歡迎國內外先進的儀器制造商及科學工作者與我們聯系開展各層面的合作,打造成一流的真空系統產品、等離子體增強化學氣相沉積系統和原子層沉積系統供應商。
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